Năm 761, Sử Tư Minh lại bị con là Sử Triều Nghĩa giết để đoạt ngôi, phong cho ông làm Ngụy châu thứ sử. Nhà Đường nhân cơ hội đó tổ chức phản công, liên quân cùng Hồi Hột lấy lại Lạc Dương năm 762. Điền Thừa Tự cho quân rút lên phía bắc, hợp quân với Sử Triều Nghĩa tại Vệ châu[12], mưu kháng cự lại vương sư. Nhưng quân Yên nhanh chóng bị tướng Đường là Bộc Cố Hoài Ân đánh bại, phải lui về phía bắc. Quân Đường đuổi theo truy kích. Đến cuối năm 762, ông cùng Sử Triều Nghĩa bị vây hãm tại Mạc Châu[13]. Điền Thừa Tự khuyên Sử Triều Nghĩa chạy đến căn cứ ban đầu là Phạm Dương để lấy thêm quân tiếp viện, còn bản thân mình ở lại Mạc châu kháng cự vương sư. Tuy nhiên, khi Sử Triều Nghĩa vừa rời khỏi thì Điền Thừa Tự dâng đất này đầu hàng triều đình, bắt hoàng thái hậu, hoàng hậu cùng các con của Triều Nghĩa nộp cho nhà Đường. Sử Triều Nghĩa lâm vào đường cùng, về sau còn bị tướng cũ là Lý Hoài Tiên truy kích, phải tự sát. Loạn An Sử kết thúc (764).

Đường Đại Tông do thấy đất nước loạn lạc đã lâu, cũng chán cảnh binh đao, lại theo lời sàm tấu của Phốc Cố Hoài Ân, không hỏi gì đến tội của các tướng cũ Đại Yên đã quy hàng, vẫn cho họ trấn nhậm ở những châu quận Hà Bắc. Đó là các tướng Điền Thừa Tự cùng Lý Bảo Thần (nguyên tên là Trương Trung Chí), Tiết Tung, Lý Chánh Kỉ. Phong cho ông làm Kiểm giáo hộ bộ thượng thư, Trịnh châu thứ sử. Không lâu sau chính thức phong ông làm Ngụy châu thứ sử, Bối Bác Thương Doanh đẳng châu phòng ngự sứ rồi tiết độ sứ Ngụy Bác[6], lãnh địa lúc đầu có 5 châu.